一种大尺寸高性能氧化铌靶材的制备方法

本发明经过本局依照中华人民共和国专利法进行审查，决定授予专利权，颁发本证书并在专利登记簿上予以登记。专利权自授权公告之日起生效。本专利的专利权期限为二十年，自中请日起算。专利权人应当依照专利法及其实施细则规定缴纳年费。

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