关于铝铜合金靶材性能,制备方法及其应用介绍

日期:2022-07-24 浏览:16

铝铜合金靶材

铝铜靶材很坚硬,熔点是640℃,一般是1~3%的铜组成,跟金属铝的化学性质相似,轻而抗张强度大。铝铜的主要性能特点是室温和高温力学性能高,铸造工艺简单,切削加工性能好,耐热性能优良。铝铜合金靶材在集成电路制造中具有重要作用。


铝铜靶材特征

铝铜靶材形状:平面靶、异型定制

铝铜靶材纯度:3N,4N,5N

铝铜靶材尺寸:按图纸加工或其他者定制

我们还可以提供铝铜合金块、铝铜合金板、铝铜合金棒等


铝铜合金靶材制备工艺

将铜含量为0.1-3wt%的铝铜靶坯进行预热,预热的温度为750-850℃,预热的时间为5-30min;

将预热好的铝铜靶坯进行3次三向锻造,第一锻造,锻造的温度为750-850℃,变形量为40-60%,锻造后的铝铜靶坯沿x轴方向拔长至第一锻造前的长度;第二锻造的温度为750-850℃,变形量为40-60%,第二锻造后的铝铜靶坯沿y轴方向拔长至第二锻造前的长度;第三锻造的温度为750-850℃,变形量为40-60%,第三锻造后的靶坯沿z轴方向拔长至第三锻造前的长度,且x轴方向、y轴方向和z轴方向中的任意两个方向相互垂直,三向锻造的锻造比为1.5-2.5;

而后,进行热处理,热处理的温度为300-400℃,处理的时间为30-90min。水冷后,在温度为10-30℃进行冷压,控制冷压变形量为30-50%;

然后在10-30℃进行冷轧,冷轧时,每道次的下压量为10-20mm,冷轧控制变形量为60-85%;

后校平,经机加工,得到铝铜合金靶材。

该方法制备的铝铜靶材,品粒分布均匀、晶粒尺寸≤100um,同时简化了工艺流程,缩短了加工周期,提高了生产效率。


铝铜合金靶材成分表

上图是铝铜合金靶材的材质单

铝铜合金靶材应用

铝铜合金靶材主要用于集成电路、太阳能电池、平板显示等领域。

在集成电路领域,它被用于制作互连线和布线,以提高电路的性能和可靠性;

在太阳能电池领域,它被用于制作电极和背电极,以提高电池的效率和寿命;

在平板显示领域,它被用于制作薄膜晶体管和光电器件,以提高显示的亮度和分辨率。


铝铜合金其他应用

航空航天领域:由于其密度低、导热性能好、强度高且具有良好的抗腐蚀性,铝铜合金常用于制造航空器的结构件,如机翼、机身和尾翼。此外,也可用于制造涡轮叶片、涡轮机壳和喷气发动机的排气系统等关键部件。

汽车制造领域:铝铜合金在汽车行业中用于制造汽车零部件,以减轻车辆重量,提高燃油效率和性能。

电力及电子领域:作为优质的导电材料,铝铜合金被广泛应用于高速电缆、导线和电路板的生产。在电子元器件制造中,铝铜合金也用于芯片散热器和封装材料等。

建筑装饰领域:铝铜合金因其美观和耐用的特性,也可用于建筑装饰面板等应用。


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